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铸锭炉技术特点

2018/06/19195 作者:佚名
导读: 先进的多晶硅定向凝固技术;优质的炉膛材质和高气密封性炉腔,为多晶硅生长提供优良条件;隔热笼同步提升技术,保证垂直方向温度梯度和固液界面水平;方便形成垂直温度梯度的热场设计,实现晶体快速生长;独特生长期维持副泵设计,大大降低真空系统能耗,延 长主泵寿命,减少使用维护成本; 采用固化碳毡错位设计,减少热损耗,节能;隔热笼运动机构采用进口驱动器+伺服电机+进口滚珠丝杆副,控制精度高,运行平稳可靠下

先进的多晶硅定向凝固技术;优质的炉膛材质和高气密封性炉腔,为多晶硅生长提供优良条件;隔热笼同步提升技术,保证垂直方向温度梯度和固液界面水平;方便形成垂直温度梯度的热场设计,实现晶体快速生长;独特生长期维持副泵设计,大大降低真空系统能耗,延 长主泵寿命,减少使用维护成本; 采用固化碳毡错位设计,减少热损耗,节能;隔热笼运动机构采用进口驱动器+伺服电机+进口滚珠丝杆副,控制精度高,运行平稳可靠下炉盖运动机构采用直流电机控制、稳定性好,并配有丢步检测保护装置;工艺过程计算机全自动智能化控制,图形化显示,独有断偶等“经验”处理程序,提高铸锭成功率;可靠的安全性能:高于国际行业标准的安全性防护设计,采用四重防硅液泄漏安全防护技术,确保防止意外的发生; UPS电源,软件、硬件多重安全保护,故障报警和安全联锁,设备可靠性高;整机模块化、标准化设计,安装快捷,设备拓展方便,可维修性好;快捷方便的本土技术服务,充足的零备件供应。

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