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主要是用固态氧化铝进行化学吸附,生成氟化铝。目前应用较广的净化装置如图。干法净化多用于电解铝地面排烟净化,也可用于利用磷矿石生产磷、磷酸和磷肥等过程中产生的含氟烟气的净化。干法吸附装置对氟化物的去除效率可达98%以上。