干沉降速率常用来衡量干沉降作用的强弱。定义为单位时间内在单位面积上沉积的气溶胶粒子总数与大气中气溶胶粒子数浓度之比，具有速度的量纲，大小与气溶胶粒子的谱分布、化学成分以及大气状态(湿度、风速和湍流强度等)有关。对于粒径大于10微米的大粒子在大气运动中会产生重力沉降，粒径大于20微米的粒子有明显重力沉降速度。直径小于1微米的硫酸盐粒子的干沉降速率通常在0.1厘米/秒左右。

对于气体和粒径小于10~20微米级别的小粒子，重力沉降作用可忽略，但是它们会由于湍流扩散和布朗运动沉积到各种物质表面，然后物质通过吸收、碰撞、光合作用和其他生物学、化学和物理学过程沉积到地面。大气微量气体成分的干沉降速率定义为单位时间内单位面积上沉积的该成分的总质量与它的质量浓度之比。其大小和该气体的物理和化学特性以及大气状态有关。关于大气微量气体成分的干沉降速率的观测资料较少，相互差别也较大。如表1所示。

表1 部分微量气体干沉降速率

形成干沉降的主要物理过程包括重力沉降、湍流运动、布朗运动、惯性作用和静电作用等;主要化学过程包括化学反应、溶解等;生物学过程包括植被生长生命过程等。这些过程都会受到气象条件、污染物性质和沉积表面特征的影响。