二氟一氯甲烷经气化、预热、通入裂解炉，热裂解产含四氟乙烯单体的裂化气，经水洗、碱洗、压缩、冷冻脱水、干燥，分馏等工序，最后精馏得成品。

主要是氯仿法。此法自1941年开始中间试验以来，一直是工业上普遍采用的方法。它首先由氯仿与无水氟化氢反应制得二氟一氯甲烷(见氟利昂HCFC-22)，后者再经热裂解，脱去氯化氢即得四氟乙烯。热裂解时，二氟一氯甲烷预热到400℃后，与950~1000℃的过热蒸汽以1.5~10的摩尔比混合，进入用抗腐蚀材料(如镀铂的镍管)制成的绝热反应器，温度700~900℃，压力0.01~0.2MPa，停留时间0.05~1s，转化率为75%~80%，四氟乙烯选择性可达90%~95%。副产物是六氟丙烯及链状或环状烃类全氟化物。

反应气体经水洗和碱洗除去氯化氢后，经干燥、压缩、深度干燥、精馏、萃取等工序可得高纯度产品。聚合级的四氟乙烯纯度必须高达99.9999%，几个ppm的杂质能使聚合物失去应用价值。在微量氧存在下，四氟乙烯形成过氧化物,并导致自发的聚合。为此需在低温、隔绝空气并添加稳定剂(萜烯或三正丁胺)的条件下贮存。此外，四氟乙烯也可由四氟二氯乙烷在三氟化铝存在下催化脱氯而制得。