一、超净室环境保持

1.工作人员应首先做到保持个人清洁卫生，进入室内不要带贵重金属、装饰品及一切化妆品，所用记录纸应选用不起尘纸，记录笔用圆珠笔。工作人员每人最少准备三套洁净服，供换洗及备用，洁净服每周应清洗两次，并与外衣分别设置存衣柜。超净室入口处应设置跨越式鞋柜及粘鞋垫。设备搬入室内前要用吸尘器或其它清洗方式清理干净。每天清扫超净室，包括地面、墙壁及工作台面。

由于春季风沙较大，因此，门窗应密闭，最好采用双层结构。风淋室前后门不得同时开启，以防非净化空气污染净化工作区。设置循环净化送风系统是为保持室内洁净度达到规定等级。进入超净室前需更换洁净服及专用拖鞋，经风淋后方可入内。进入室内操作前20-30分钟，即应打开循环净化送风系统，下班后应将工件、工具等物品存放妥善后，停止净化送风系统。净化系统停止运行后，不应随便进入室内，以减少对超净室的污染。

2. 时常维护超净室环境的设备，使之处于良好工作状态是保证洁净度的前提。相应设备包括柜式空调机、风淋室、使室内洁净度达1000级的循环净化送风系统、洁净度达100 级的光刻区层流罩净化送风系统及净化涂胶台和工作台。循环净化送风系统为单机送风，使室内保持正压。送风形式为上送、侧下回，经初效、中效、高效三级过滤，设计风量3000m3/h , 风压410Pa。 风淋室设置于超净室入口处，用于吹除工作人员身上的浮尘，是进入室内的关口。风淋时，先设定时间，若需加热，可打开温控开关。根据需要调节喷口角度以提高风淋效率。

正确操作、调整空调以保持规定湿度和温度。定期检查室内、外机组运行及电气线路连接状况。所有循环净化送风系统，当进风口处的过滤器表面发黑时，表明阻力增大，影响净化效果，应定期用吸尘器清洁，必要时拆下清洗或更换。风淋室喷口风速应每年测(+, 次，低于规定参数值时，则应更换高效过滤器，更换时要注意箭头标志及密封处不可渗漏。定期进行风机电气线路检修，以保证绝缘及接触良好。

严格按规程操作，工作泵不能无水运行。视水质状况，一年左右清洗、更换过滤树脂或精密过滤芯以及紫外线杀菌灯一次。当水箱水位达下限而报警时，应向水箱注入原水。关机时，注意同时关闭有关阀盘，以保持系统密封。专业设备的管理及维护应由专人负责，使设备保持良好的性能，对延长其使用寿命大有益处。另外，应做好设备维护运行记录。