1.是一 种精密微细的加工方法。

2.非接触式加工，不会产生应力和变形。

3.加工速度很快，能量使用率可高达90%。

4.加工过程可自动化。

5.在真空腔中进行，污染少，材料加工表面不氧化。

6.电子束加工需要一整套专用设备和真空系统，价格较贵。

离子束加工的基本原理

离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，获得具有一定速度的离子投射到材料表面，产生溅射效应和注入效应。由于离子带正电荷，其质量比电子大数千、数万倍，所以离子束比电子束具有更大的撞击动能，是靠微观的机械撞击能量来加工的。

离子束加工主要特点如下:

1.加工的精度非常高。

2.污染少。

3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。

4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。

离子束加工的分类

离子束加工依其目的可以分为蚀刻及镀膜两种。

蚀刻又可在分为溅散蚀刻和离子蚀刻两种。

离子在电浆产生室中即对工件进行撞击蚀刻，为溅散蚀刻。

产生电子使以加速之离子还原为原子而撞击材料进行蚀刻为离子蚀刻。