1、铜的生产和提纯:炼铜的原料是铜矿石。铜矿石可分为三类

⑴硫化矿如黄铜矿(CuFeS₂)斑铜矿(Cu5FeS₄)和辉铜矿(Cu₂S)等。

⑵氧化矿如赤铜矿(Cu₂O)孔雀石[Cu₂(OH)₂CO₃]硅孔雀石(CuSiO₃·2H₂O)等。

⑶自然铜铜矿石中铜的含量在1%左右(0.5%~3%)的便有开采价值，因为采用浮选法可以把矿石中一部分脉石等杂质除去，而得到含铜量较高(8%~35%)的精矿砂。经过提取后得到粗铜，再通过多次电解、区域熔炼等方法将铜从99.95%提纯到99.99%、99.999%、99.9999%，目前国内最高纯度在99.9999%(6N)左右。

2、有了高纯度铜锭作为原材料，对原材料进行锻造、轧制、热处理等，使铜锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需铜靶材的要求。

3、对变形处理后的高纯度铜材料进行机械加工，铜靶材加工要求精度高、表面质量高，加工成真空镀膜机所需的靶材尺寸就可以了，铜靶材与镀膜机多以螺纹相连接。