汽化双氧水灭菌法具有以下几方面的特点:

(1)消毒灭菌可以在室温条件下进行。

(2)消毒周期短，汽化双氧水的消毒周期只需5-7h，而蒸汽消毒周期为0.1-0.5h，环氧乙烷(EO)气体消毒灭菌周期为12-18h。

(3)汽化双氧水消毒灭菌对操作人员无危害，对环境无污染，其最终残留物为水和氧气。

(4)蒸汽灭菌使腔室有很大的压差变化，长期反复受压、抽真空，缩短了设备寿命;采用汽化双氧水灭菌，因为压力、温度条件的改善，使设备的运行寿命和维修周期延长。

(5)长期使用蒸汽灭菌，湿热气体易破坏腔体内表面的不锈钢钝化膜，而汽化双氧水灭菌则很少损害。

(6)采用移动式(带脚轮)的汽化双氧水发生器，能对多台设备配套灭菌，减少设备的初投资。

·(7)汽化双氧水灭菌，工艺重复性好，较易通过验证测试。

优点:低温、快捷，实用于不耐高温、湿热的器械，灭菌材料和物品的范围广，对器械损耗少，有包装可保存，有完善的监测系统。

缺点:接触过多的过氧化氢可以致皮炎、支气管或肺脏疾病。经口中毒时会出现腹痛、胸口痛、呼吸困难、呕吐、体温升高、结膜和皮肤出血，个别出现视力障碍、痉挛、轻瘫; 不能用于处理植物纤维素制品如棉布、亚麻布和纸。也不能处理尼龙和聚酯纤维，不能处理活体;不能用于处理长40cm以上、直径3mm以下或有盲管、尖角的器械;不能处理有机物与无机物污染，先灭菌后清洗的器械。