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通过非线性修正及标定,画出了0-±500μm档及0-±30μm档的误差与位移的修正曲线,如图4、图5所示。由图中曲线可以看出:经过非线性修正处理后,智能电感测微仪的测量误差大大降低。0-500μm档由修正前的最大误差29.1μm减少为0.6μm;0-500μm档由修正前的0.18μm减少为0.05μm,0-20μm档由修正前的最大误差1.01±m减少为0.06μm。