半导体产业在制造过程中，无可避免地必须使用不同种类的化学物质，为了提高产品的良率，必须精密控制产品所接触环境的空气质量。而制程排气系统(Exhaust System)，虽非制程生产所需设备，但却是为生产区域营造一个可供生产人员在安全情况下的工作环境，因此制程排气系统，从废气物质兼容性至排放气体输送，以至于各种污染处理设备，皆需经严格且缜密选择，这些均是环环相扣缺一不可。

半导体工业，虽已有四十年的发展，却是在近十年内快速发展，成长之速非常惊人，且电子产品已成为人们生活中不可缺少的必需品，各个先进国家无不努力于研究发展，以期在工业能力及市场占有方面能取得优势。但在半导体制程生产既可符合制程生产需求，又能兼顾工业安全，同时更可为环保尽一份心力时，所排放之废气，除了对人体会有安全性之威胁外，更会造成环保空气污染。有鉴于此，在投入半导体工业建厂的同时，希望能对制程排气处理原理，环保相关法规甚至各个系统处理所使用的管材，做全面的了解。