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制程排气系统制程排气风管选用

2018/06/19135 作者:佚名
导读: 半导体厂房中,依据排放的特性大致上区分为酸、毒性( Acid Exhaust)、碱性( AlkaliExhaust)、有机溶剂(Solvent Exhaust)及一般排气(General Exhaust)四个系统。除一般气体排放系统,因其排放气体并无危险性及污染考量,其管材使用并不须特别考虑,其他三种系统排放物质皆有酸、碱、腐蚀或高温燃烧等因素,在使用管材上皆须特别考虑,避免产生危险及空气污

半导体厂房中,依据排放的特性大致上区分为酸、毒性( Acid Exhaust)、不锈钢内衬铁氟龙碱性( AlkaliExhaust)、有机溶剂(Solvent Exhaust)及一般排气(General Exhaust)四个系统。除一般气体排放系统,因其排放气体并无危险性及污染考量,其管材使用并不须特别考虑,其他三种系统排放物质皆有酸、碱、腐蚀或高温燃烧等因素,在使用管材上皆须特别考虑,避免产生危险及空气污染。在四种排气系统中,General Exhaust 因无特殊考虑,在经济原则下,镀锌及不锈钢风管都有使用,而Solvent Exhaust 因其排放物质特质,皆采用SUS304 全焊风管或不锈钢内衬铁氟龙(ETFE)即可合乎要求,至于Acid/Toxic/Alkali Exhaust 因其考虑性较多,故使用管材也较多样化。在各种排气系统常用管材选择上,除考虑安全性及环保污染外,更须考虑设置成本,对整体成本影响最大,故而特殊管材选用。

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