英文名trochoidalvacuumpump

原理余摆线型转子在泵腔内作行星运动，使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。它主要由泵体和转子构成。图为余摆线真空泵的工作原理和传动机构。转子的型线为余摆线，泵腔型线为转子型线的外包络线。转子上的内齿轮与固定在泵盖上的小齿轮啮合。当转动轴旋转时,偏心轮即带动内齿轮(即转子)绕小齿轮作行星运动。泵体Μ点永远与转子表面接触，将泵腔分隔成两个工作室A和B。转子逆时针方向旋转，与排气口相通的B室内的气体逐渐被压缩,压力逐渐升高。当压力升高到大气压力时，气体即推开排气阀排出泵外。同时，A室内的气体压力则逐渐降低,于是被抽气体从吸气口源源不断地吸进，直至吸气口被转子表面隔离而终了。转子连续不断地旋转，泵即连续抽气。在泵腔内各运动件表面间用油膜密封，所以这种泵是一种油封式机械真空泵。余摆线真空泵的极限压力可达 1帕，在压力为10~13帕时可达到额定抽气速率。工作压力范围为10~1帕。