高纯气体系统用限流安全切断阀(Usedin High Purity Gas System Flow Limit Safety Shutoff Valve)
气体工业名词，当流量超过设定值时可自动切断流量。切断阀通常安装在气源出口与减压器之间。它对流过设定孔的压力降敏感，当达到设定压力差限时，阀门关闭。如果将启动开关打开，使活塞上下压力平衡，则又重新开始工作。此类阀的入口压力1～21MPa，工作压差0。42MPa，稳定性，重复性±10%；操作温度-40℃～90℃。阀体的适用材料为316不锈钢，阀座为聚四氟乙烯和氟橡胶，弹簧为不锈钢。
