我国在70年代初就开始了集成电路测试仪的研制工作，80年代后期国产集成电路测试仪的水平，特别是自行设计能力有较大提高，测试理论、测试方法、测试系统的研究试验工作受到国家重视，初步形成一支科研、设计、制造的技术队伍。国内研究或制造集成电路测试仪的研究所与工厂主要有中国科学院计算技术研究所、半导体所、北京自动测试技术研究所、光华无线电仪器厂(767厂)、北京无线电仪器厂、北京科力公司等。1986年科学院计算技术研究所研制成功ICT-2LSI/VISI综合测试系统，功能测试速率10MHz/20MHz，通道数48(128)，OTA(系统总定时精度)±2ns。1987年北京自动测试技术研究所研制成功BC3170存储器测试系统，功能测试速率20MHz，通道数32个。同期光华无线电仪器厂推出GH3123型集成电路自动测试仪，北京自动测试技术研究所BC3110X型集成电路测试仪研制成功。这两种采用CAT技术的中小规模集成电路测试系统，标志着国产中小规模集成电路测试仪的技术水平进入新的发展时期和走向实用阶段。继而北京科力公司研制和生产测试速率12.5MHz、64通道大规模数字集成电路测试系统。此后不久，光华无线电仪器厂又研制成功功能测试速率为10MHz的16M位RAM存储器测试仪，大规模测试系统获得长足的发展。

1996年，由北京自动测试技术研究所、国营光华无线电仪器厂、中科院计算技术研究所联合研制成功3190数字集成电路大型测试系统，测试速率40MHz，通道数64个，定时精度±750ps，达到八十年代中后期国际先进水平，国产集成电路测试仪上了一个新台阶。

国产集成电路测试仪虽有一定的发展，但与国际水平仍存在较大差距。市场上各种型号国产测试仪，中小规模占80%，只有少数采用计算机辅助测试。大规模IC测试系统ICT-2、BC3170、3190类大系统，由于价格、可靠性、实用性等因素导致没有实用化。因此，大规模IC测试系统主要依靠进口解决国内的科研、生产与应用测试。