1. 打开设备卷帘盖。

2. 打开接线板开关?打开蓝色稳压开关?注意?必须待稳压电源指示灯由红色变为绿色?电压稳定后才可进行后续操作?如电压不稳定就开始操作?很可能损坏设备。

3. 按下圆形绿色ON开关?打开系统总电源。

4. 打开机台右下方的黑色有机玻璃盖子?按下白色圆形按钮?启动电脑主机。

5. 按下橙色开关?power?

6.打开显示器开关?启动PG-2000软件和PClink软件?登录ID: 1, password:1

7.打开显微镜左侧红色开关。

1.按下绿色按钮?start??载物盘移出?按下VAC抽真空键?真空泵工作?放入芯片?轻触芯片看是否吸附牢固,确定样品放置平整?如不平整则会影响检测结果并损坏探针。

2.芯片放置完毕后?再次按下绿色Start键?载物盘归位。

3.选取标准芯片?进行影像学习?设定60%的相似度?可以根据需要自行设定??然后点击搜索。

4.取任意最近一点?点击产品设定?选择自动更新?系统自动显示出行数?列数以及晶粒间距??点击产品设定?存储?名称?点击设定名称?自行输入名称后点击离开。

5.点击晶圆水平?进行影像的水平调节。

6.点击影像扫描?系统自动扫描选取样品。

7.进行接触检测?按下UP/DW键观察ES1和ES2指示灯是否亮?亮则说明接触良好?否则为接触不良。若接触不良?则需要按下A/Light键?打开环形照明灯?从显微镜的目镜中观察样品以及针头位置?调节探针台的XYZ轴旋钮?使针头能正确接触芯片的电极?直到ES1和ES2指示灯点亮。再次按下UP/DW键?完成接触检测。

8.打开PClink测试连线软件?用户名和密码都是1??进行参数设定?并对档案进行命名?点击开始写档。

9?回到PG2000系统?点击开始测试?按下绿色Start键?设备开始进行检测?检测完成后?按下红色Abort键结束检测。如果在检测过程中需要暂停?则按下黄色Pause键?暂停结束后若仍需继续检测?则按下绿色Start键?系统继续对样品进行检测。若暂停后要结束检测?则按下红色Abort键?系统自动终止检测。

10.正常检测完毕?按下红色Abort键?结束检测。

1. 所有检测完成后?若需关闭系统?则首先要关闭PG2000软件和PClink软件?再正常关闭计算机。

2. 接着关闭显微镜左侧红色开关。

3. 然后关闭橙色POWER开关。

4. 确定系统中所有开关均已关闭后?最后按下红色OFF键?关闭系统总电源。

5. 关闭系统过程中?必须按照以上步骤操作?否则极易造成设备损坏。

6. 待系统关闭后?关闭稳压电源蓝色开关?关闭接线板开关?拉下卷帘盖?检查无误后?方可离开。 故障备注?目前设备尚存在一些故障问题?显微镜右眼的目镜是坏的?无法看到样品?仅能从左眼目镜进行观察。

7进行接触检测时?正常情况下按下UP/DW键观察ES1和ES2指示灯是否亮?点亮则说明接触良好?否则为接触不良?而目前即使接触良好?ES1和ES2灯也不亮?对针的时候无法直观判断接触情况?操作难度很大?需要检修。马老师说过段时间会有工程师来维修和详细培训?维修培训过后我会对操作手册进行进一步的完善和修改。