544-531

544-533

544-535

544-537

544-539

544-495C

机 型Model

LSM-500S

LSM-501S

LSM-503S

LSM-506S

LSM-512S

LSM-902

显示器Display

544-071C/LSM-6200

LSM-902/6900

品 牌Brand

Mitutoyo

扫描频率

Number of scans

3200回/秒 scans/s

800回/秒scans/s

扫描速度

Scanning speed

76m/s

113m/s

226m/s

452m/s

904m/s

56m/s

使用温度

Operation temperature

0°C ~ 40°C

使用湿度

Operation humidity

35 ~ 85%RH (with no condensation)

测量领域

Measuring region

1x2mm

4x10mm

10x30mm

20x60mm

30x120mm

3x25mm

位置误差

Positional error

±0.4μm

±0.5μm

±1.5μm

±4μm

±8μm

±0.5μm

在20℃直线性 *

Linearity at 20℃

±0.3μm

±0.5μm

±1μm

±3μm

±6μm

±0.5μm

重现性

Repeatability

±0.03μm

±0.04μm

±0.1μm

±0.36μm

±0.8μm

±0.05μm

最小解析值

Resolution(selectable)

0.01μm

0.01μm

0.1μm

0.1μm

0.1μm

0.01μm

测量范围

Measuring range

0.005-2mm

0.05-10mm

0.3-30mm

1-60mm

1-120mm

0.1-25mm

光 源Light source

Wave Length：650nm，可视光半导体Visible Diode Laser