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SF6微水测量仪采用先进的湿敏传感器。传感器上有一层多孔的网状金膜。由于薄膜的吸水特性,当有气体通过时,水分子被吸收其中,导致电参数发生变化,测量该参数值即可得到被测气体的湿度。