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GGX-200各项技术指标均优于国家相关技术标准的规定:
1、波长示值误差≤±0.5nm,重复性≤0.3nm
2、光谱带宽偏差0.2nm光谱带宽时,不超过±0.02nm
3、狭缝精度≤0.3nm
4、边缘能量谱线背景值峰值≤2%,瞬时噪音≤0.02
5、检出限(cd)≤0.5pg
6、特征量(cd)≤0.5pg
7、精密度≤2%
8、背景校正能力≥30
9、基线稳定性30分钟内零点漂移吸光度不超过±0.005