自感式电感传感器在测量位移和尺寸领域的应用，具有代表性的便是电感测厚仪。通过将测微螺秆4调节到给定厚度值，该厚度值可由度盘读出。被测带2在上下测量滚轮之间通过，通过杠杆使铁芯上下移动，从而改变线圈电感的变化则由相应的电桥电路测出，测出带材厚度的偏差值。
此外变气隙型电感式尺寸传感器、螺管型轴向式电感传感器都可以实现位移和尺寸的测量。变气隙型电感式尺寸传感器壳体内两个平弹簧上悬挂着导磁体，导磁体可以通过微调螺钉1相对于传感器壳体移动。螺管型轴向式电感传感器，可换测头通过螺杆拧在测杆上，测杆可在滚珠导轨上作轴向移动，滚珠有四排，每排物，尺寸和形状误差都小于0.6um。
一般这类型传感器被用做精密量仪的部件，如高精度的电感比较仪等。可以作为轴承滚动体自动分选机的主要测量部件，用来测量各种滚动体的尺寸和形状，零件的膨胀、伸长和应变等。
