油增压泵的工作原理与油扩散泵相似，仍然是以靠工作射流来携带气体，达到抽气目的。不同点是油增压泵的射流主要是以靠被抽气体与蒸汽射流之间的粘滞摩擦来携带气体进行抽气。为使油增压泵能在较高的压强区域内工作，必须增大蒸汽射流强度(密度)，所以油增压泵的加热功率要比同容量的油扩散泵大得多。
油增压泵的应用领域与油扩散泵相似，它可以广泛应用于冶金、电子、化工、原子能工业、空间模拟试验的各种真空炉和各种工艺过程放气量较大的中真空镀膜机及其它真空应用装置，是中真空理想的获得设备。它可以与阀门、管道、机械泵一起组成高效率的中真空抽气系统;并且，油增压泵工作压强范围比油扩散泵高(10~10Pa)，所以油增压泵除作主泵外，还可作油扩散泵的前级泵，起增压作用;此外，如果它与液氮等冷却装置组合，并加烘烤等措施，可获得超高真空。
