《半导体芯片制造系统建模与优化调度控制》在总结国内外研究发展现状的基础上,着重介绍作者多年来对半导体芯片制造系统建模、调度、产能规划等方面的研究成果。主要包括:半导体芯片制造系统的特点、生产调度控制的难点及国内研究现状,拓展型面向对象Petri网的层次化建模方法,基于规则和基于模型的实时派工控制模型,ReS2仿真平台的基本架构及关键技术,基于随机规划的芯片制造系统产能规划方法,基于多规则组合的两阶段的多目标优化调度方法,基于问题分解的智能调度方法,动态瓶颈的调度策略及基于约束权重的动态在制品水平控制方法,时变多目标优化调度方法。