典型的于式真空系统(见图1)由SIHldry，净化气体模块、吸入管线模块(可选)、冷却水循环模块、气体冷却模块、驱动控制柜组成。模块化设计的灵活性可以使SIHIdry应用于所有流程，尤其对于吸入压力达1Pa以下，处理介质为含水分和灰尘、腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体等工况尤为合适，在化工、制药、电子等需要洁净真空的行业有广泛的应用。所有必需的元件可以集成在一个标准的系统中，丌位于泵内、通过内部冷却水回路，可以精确地控制内部温度，从而防止介质的冷凝、结晶和溶液的燃烧。

完全安装好的电气和机械界面非常友好，驱动和控制可以完全集成在标准的机组中。各种不同的界面可以添加到已有的系统和流程中;驱动控制可以保护机器以防应用巾的故障-例如，当输送含液体的介质时，泵的速度可以自动减少以输送该介质。当不含液体时，泵的速度将回归到设定值。这同样适用于输送固体和粉末的场合。LCD显示器可以给十转子的沉积物和冲洗的效果。

如图2所示，SIHIdry的基本设计包括FEP O形圈的壳体密封及以下元件:

(1)在壳体内的变频驱动电动机。

(2)用于冷却泵壳、驱动电动机及双螺杆的冷却水回路。

(3)防上有害颗粒进入泵内的吸入口过滤

1.气体净化模块EX

标准的EExP气体净化系统用来调节、控制与监测轴封处的惰性气体N2的压力，使系统符合ATEX防爆条例的要求而町以安装在危险区域。该系统町集成在机组中并可以设置相关参数。

2.吸入管线模块(可选)

在需要的时候，该模块可将泵与流程隔离。例如，当泵达到预定的温度，或超过有机介质(T4)的最大温度极限时， 町自动切断该流程，这种控制通过气动控制吸气阀来实现，该吸气阀完全集成在控制驱动变量巾。同时，当连接到共用的真空管路时，吸气阀可以防止回流。

3.冷却水循环模块

该模块配置有循环泵、流量显示器、增压器调节阀、温度控制阀与热交换器，该模块完全集成在共同的底板上。当现场冷却水进出口的压差非常低及现场水质很差的时候，该模块特别见效。该循环冷却系统可以精确地调节，以全流量来有效地降温，以零流量来有效地升温。

4.气体冷却模块

该系统让泵腔排出的气体，经过热交换器并将其中一小部分再送回泵腔。使用这种方式进行冷却，冷却的干空气向双螺杆的下一端进行传输，不会影响进气口的吸气能力。这样町以在低的压力下保证一定的流量，防止热敏物质的沉积。

5.驱动控制柜

(1)该模块可以安装在机组上，适用于在Ex区域I，防护等级EEx-p。

(2)内置的电动机通过一个由变频器、供电和控制模块的单元进行操作。

(3)电子驱动系统防止机械元件由于夹带液体等原因引起的过载。

(4)泵的速度可以减小，防止超过最大的允许电动机负荷。

(5)当夹带的液体去除后，恢复起始操作点。

(6)SIHIdry可以覆盖吸入压力和吸气量的整个范围。该泵能在其性能范围的任何点操作。同时，还可以预先设定需要的操作曲线:变速操作允许最灵活的操作并减小能量消耗。

(7)该模块可以测量真空系统中的不同的过程压力。

(8)在选用了驱动控制时，可以使用操作显示模块，该模块可以向操作人显示SIHIdry参数，如速度、压力、转矩、温度，可以简单地使用按钮控制，也可以使用LCD显示。

另外，可提供PARA参数修正模块。不是使用PLC程序，而是使用PARA软件，能够修正SIHIdry的特定参数，该参数由客户决定，如温度-亡下限、速度、压力、设置、加热循环等，为提供将来长期运行的适用性，需要基于汁算机的标准视窗。当配置有远程诊断模块，客户能够设定与检查控制系统与参数，从而对泵进行远程监控。