地纳米加速器由高压倍加系统，高频振荡器，加速管，电子枪，引出扫描系统，真空系统，SF6气体处理系统等设备组成。高频振荡器由高频震荡管、高频变压器和高频电极及对钢筒、倍压芯柱之间形成的分布电容组成，它在两个高频电极之间产生300kV以上高频电压，这一高频电压通过高频电极与芯柱上半圆电晕环间的分布电容和芯柱内的整流硅堆组成并联耦合级联倍压系统，在高压电极上产生极高的直流电压，与高压电极处在等电位的电子枪所产生的电子流在此负极性电压作用下通过加速管时得到加速，从加速管中出来的高能电子束由磁扫描器在水平方向进行扫描，然后穿过钛窗对产品进行辐射加工。高气压钢筒内充以SF6气体以保证加速器的高电位梯度。
