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分子泵工作条件

2018/06/19363 作者:佚名
导读:(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。 (2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。

(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。

(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。

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