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gas converter
气体裂化器管用于热裂化在抵达基板前必须激活的气体。气态源分子束外延磊晶生长(MBE)包括V族氢化物和III族有机金属气态源。气体裂化器具备常见的单个灯丝蒸镀瓶加热器用于辐射加热钽或PBN裂化管。使用挡板可增强裂化效率。专门设计或制造的用于利用氨-氢交换法生产重水的氨裂化器。该装置能在大于或等于3MPa(450psi)的压力下运行。