也叫抽气速率，指在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。 常用单位是:L/Min(升/分钟)。"流量"参数如无特别说明，特指在20℃、标准大气压下的"峰值流量"。

真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力。要提高真空度指标，就必须有更高的密封条件，因此就需要采用尺寸更精确、材料性能更优异的零部件，于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然，抽气速率的提高也会引起价格的攀升，但其增幅不大。因此，选择微型真空泵、微型气体采样泵、微型气体循环泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等多种微型泵时，需要认真考虑真空度指标、抽气速率指标、自己的使用情况等，这样才能最好地兼顾使用性能和成本。

高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。例如有一种高真空度的微型真空泵VCH1028,它的真空度可以到10KPa(0.01MPa绝对压力)，可以大致理解成能将一个密闭容器内的气体抽走90%，只剩下10%，在微型真空泵里就算很高的了，即使跟国外同类型的微型真空泵比也相差无几。