抽气速率测量装置如图所示。为了测量抽气速率，试验罩、真空计和流量计应与泵连接。
关闭微调阀5，开泵运转，待泵运转稳定并达到极限压力后，开启微调阀5，把试验气体引入罩内，
建立一个设定的平衡压力，用真空计测其压力值，同时用流量计测量气体流量。按规定进行抽气速率的计算。测量应从接近极限压力的适当压力值开始，直到适合泵结构特点的允许压力。每个压力数量级内至少测三点（其分布基本符合2.5、5、10）。若测一次流量时间较长，取60s为一周期，压力应重复测量，并取其平均值。如果最高与最低之差大于平均值10%，流量和压力都应重新测量。
