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基于原子力显微镜(AFM)的纳米机械加工与检测技术是近年来飞速发展的一个研究领域。本书主要把作者课题组近年来的相关研究工作做了一个阶段性的归纳和总结，内容包括:纳米机械加工表面的微观形貌检测方法;纳米机械加工表层形成机理;基于AFM的纳米机械加工技术;基于AFM的工程应用。
本书对从事纳米加工技术、纳米检测技术以及超精密加工工艺等的研究人员有重要的参考价值，同时也可作为机械类研究生的参考书。
