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可清除氧化铈(ceriumoxide)、二氧化硅(silicondioxide)等研磨剂中干燥后的粒子;
可优越清除0.5μ以下的粒子;
清洗剂的分散力强，分散(dispersion)稳定性优越，难以发生再污染;
可良好产生及持续空穴现象(清洗能力强);
表面的交换性(exchangeof surface contamination)良好，因为污染扩散快、能加强清洗能力、缩短清洗时间;
DI Water的冲洗性能良好，在清洗过程中即使清洗剂干燥，也可以冲洗。
