申请号/专利号:200510083243
本发明提供一种即使在被加工物的表面贴着保护带并对里面进行磨削,也不会受到保护带厚度偏差的影响,可把被加工物磨削至预定完工厚度的磨削装置。该磨削装置具备:卡台;磨削机构;磨削进给机构;和检测由卡台保持的被加工物的上面的高度位置的高度计,该磨削装置还具备测出被加工物的厚度的厚度测量仪,和基于来自厚度测量仪和高度计的检测数据控制磨削机构及磨削进给机构的控制机构。控制机构由厚度测量仪测定的加工前的被加工物的厚度和被加工物的完工厚度数据算出目标磨削量,并基于来自高度计的检测数据从加工前的被加工物的高度位置磨削达到与目标磨削量相当的高度位置。