声表面波气敏传感器涉及重点在于化学界面膜、saw传感器及电子线路3个方面。在应用中,为了消除环境温度、压力、湿度等因素对测量结果的影响,通常采用双通道结构,如下图所示。一个通道上镀以敏感膜用于测量,另一个是未镀膜的参考通道用于对环境温度、压力、湿度等因素的补偿,通过计算可以得到两者间频率的差,从而得出待测气体浓度。 一个完整的声表面波气敏传感器通常由石英声表面波装置(st-quartz saw device)、saw装置检测片(saw device detector block)、振幅测量系统(amplitude measurement system)、相测量系统(phase measurement system)、频率测量系统(frequency measurement system)、压力监测系统(pressure monitoring system)、温度控制系统(temperature control system)、温度压力检测仪(temperatureand pressure test apparatus)、数据软件(data acquisition software)等组成,这些设备共同构成saw传感器,完成检测。