据立木信息咨询发布的《中国电子级三氯氢硅市场调研与投资前景报告（2018版）》显示：随着我国经济结构调整，计算机、智能手机、通信等产业规模的持续增长，大大拉动了对上游集成电路的需求。近几年我国从国家信息安全战略层面不断加大对集成电路产业的政策支持力度，国内近几年集成电路产业持续增长。近五年的复合增长率达到 22.14%。2014年产值已经达到3000亿。据估算2017年国内半导体电子气体的市场规模超过 20亿元人民币。

电子级三氯氢硅作为微电子、光电子元件制造过程中不可或缺的重要材料，符合2016年国家商务部发布《鼓励进口技术和产品目录》，其中明确“ 半导体、光电子元件、新型电子元件等电子产品用材料制造”为国家鼓励发展的重点行业，行业序号C30。

电子级三氯氢硅作为硅源，外延生长速度快，使用安全，是较为通用的硅源。

当前，世界上只有美国、日本、德国等少数国家能够大规模生产电子级三氯氢硅，最大的生产商是德国的Wacher公司和美国的DowCorning公司。中国在20世纪90年代初建成 一定规模的三氯氢硅生产装置，然而目前我国的三氯氢硅产品纯度只能满足中低端用户。

电子级三氯氢硅国产价格约为每吨5-7.5万人民币，进口产品到终端客户价格约为每 吨15-20万元。