随着大直径、重掺杂等特殊要求的硅单晶需求量的增加，对单晶炉设备的要求也越来越高，将旋片真空泵应用在单晶炉设备上，提高了单晶炉的整体性能。

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶炉主要需要控制的方面

一、晶体直径（尺寸）

二、温度（功率控制）

三、原料（硅料）

四、泄漏率，氩气质量等

由于硅单晶生长过程比较漫长，特别是大直径的硅单晶生长时间更长，随着时间的增加，真空泵油里的杂质也越积越多，从而使真空泵油的黏稠度也越来越大，导致旋片真空泵负荷增大，抽速下降，因此需要定期更换真空泵油。

旋片真空泵在单晶炉上的应用的好处是，维持正常的抽速，保证炉膛内的真空度稳定，排出的水经过处理还可以重复使用，这样不但维护方便而且费用低，特别是拉重掺砷等剧毒掺杂元素的硅单晶时，砷等剧毒掺杂元素融入水中后比较容易被分离收集，减少对环境的影响。同时也能取得很好的经济和社会效益。

旋片式真空泵的产品介绍：

单级旋片式真空泵均为单级油封式旋片真空泵，是获得真空的基本设备，工作原理如图1所示。

单级旋片式真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有高效油气分离效果的排气过渡器。停泵时，内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离，防止泵油返入被抽系统。泵由空气冷却。所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。

单级旋片式真空泵适用范围：

１、单级旋片式真空泵适用于密闭系统的抽真空使用。如真空包装、真空成形、真空吸引。

２、入口压力范围：100Pa~100000 Pa，超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。单级旋片式真空泵工作环境温度和吸入气体温度应在5℃~40℃之间。

３、单级旋片式真空泵不能抽除水或其它液体。不能抽除易爆、易燃、含氧量过高的、腐蚀性的气体。

４、一般供应的电动机不防爆，如要求防爆或其它特殊要求时电动机必须符合相关的标准。

了解更多旋片真空泵欢迎点击下面“普旭真空泵，莱宝真空泵”进去网站了解，谢谢！