RMS高温电阻率测量系统系列分为：绝缘材料高温电阻率测量系统、半导体材料高温电阻率测量系统（高温四探针测量系统）、导电材料高温电阻率测量系统。

随着科学技术的飞速发展，电磁测量的方法和手段也越来越丰富，越来越先进。霍尔系数和电阻率的测量已成为研究半导体材料的主要方法之一。通过实验测量半导体材料的霍尔系数和电阻率可以判断材料的导电类型、载流子浓度、载流子迁移率等主要参数。

直流四探针法也称为四电极法，主要用于半导体材料或超导体等的电阻率的测量（即半导体材料高温电阻率测量系统又叫高温四探针测量系统）。四探针的排列分为两种，一种是四探针在同一平面的同一直线上，称为直流等间距四探针法；另一种四探针可排列成正方形或矩形，这种方形排列的四探针更适合测量小区域的样品特性，可观察电阻率的不均匀性。

范德堡方法是由Leo J. van der Pauw在1958年提出的，目前它已是一种用来测量半导体的方块电阻和霍尔效应的常用技术。范德堡方法基于方形四探针，主要配置有电流源，电压表和磁体。

块体材料四线电阻法测量的电阻率为体积电阻率；适用于块体样品；

等距四探针法测量的电阻为方块电阻，电阻率为表面电阻率，适用于薄片或薄膜样品；

范德堡法为方形四探针，测量的电阻为方块电阻，电阻率为表面电阻率，适用于薄片或薄膜样品；

等距四探针法和范德堡法都是四探针测量原理，所测量的电阻率都是表面电阻率，

测量导电材料（导体）主要采用“四线电阻法”测量导电材料，适用于块体样品；

测量半导体材料主要采用“等距四探针法或范德堡法”测量半导体材料，适用于薄片或薄膜样品；

等距四探针法：非常薄的样品，例如外延晶圆片和导电涂层上；

范德堡（van der Pauw）法用于扁平、厚度均匀、任意形状，而不含有任何隔离的孔的样品材料。

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