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建设工程知识

2018/09/0696 作者：佚名

导读：目前测量晶圆或薄膜厚度，除了台阶仪和偏椭仪之外，显微镜也可以用于薄膜厚度测量。但类似方法只能用于实验室样品抽检，如何解决晶圆厚度在线测量？首先保证精度稳定（一般是次微米级），然后又可以在线检测，这样才能保证硅晶圆的批量生产。采用ERT光

目前测量晶圆或薄膜厚度，除了台阶仪和偏椭仪之外，显微镜也可以用于薄膜厚度测量。但类似方法只能用于实验室样品抽检，如何解决晶圆厚度在线测量？首先保证精度稳定（一般是次微米级），然后又可以在线检测，这样才能保证硅晶圆的批量生产。

采用ERT光谱共焦传感器可以很好的解决这一问题，非接触式测量，精度最高可达12nm，采样频率最高10K/S，非常适合高精密自动化检测设备上使用，

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。

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