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多元探测器加工工艺

2022/07/13129 作者:佚名
导读:多元探测器阵列在应用上的特点固然很多,但它的制备工艺却比单个器件复杂得多,如引线焊接,电路互连,元件致冷等等,这就要求与微电子技术相结合。 早期多元阵列是用机械方法划分,近年已逐步采用微型电路、外延和光刻法制作。线列一般达几百元件,镶嵌阵列到上千个,可达1万到10万个器件,在每排阵列中有100到1,000个元件。 为了保证多元阵列可靠,首先必须保证单个元件的质量,这就需要预先进行足够的试验。对元件

多元探测器阵列在应用上的特点固然很多,但它的制备工艺却比单个器件复杂得多,如引线焊接,电路互连,元件致冷等等,这就要求与微电子技术相结合。

早期多元阵列是用机械方法划分,近年已逐步采用微型电路、外延和光刻法制作。线列一般达几百元件,镶嵌阵列到上千个,可达1万到10万个器件,在每排阵列中有100到1,000个元件。

为了保证多元阵列可靠,首先必须保证单个元件的质量,这就需要预先进行足够的试验。对元件的要求:1)对于角分辨率高的系统,元件尺寸要小;2)空间要求装配密度要高;3)背景辐射(300°K黑体辐射)探测度和响应要好;4)元件一致性、稳定性好;5)有足够的频率响应;6)低频时的噪声要低。

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