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单面紫外光刻机技术指标

2022/07/13136 作者：佚名
导读：3-5mm样品台，20×物镜，双视场分离，分辨率0.8μm，套外精度优于±0.5μm，365nm波长不低于40mW/cm2，光强度均匀度，100mm，直径内优于±3%。

3-5mm样品台，20×物镜，双视场分离，分辨率0.8μm，套外精度优于±0.5μm，365nm波长不低于40mW/cm2，光强度均匀度，100mm，直径内优于±3%。

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