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目前广泛采用半导体热电偶和肖特基二极管作为换能元件。热敏电阻或热变电阻型功率计一度曾占优势地位，但温度特性影响了功率测量灵敏度的提高。
1964年真空喷涂技术被应用到功率探头制造以后，薄膜热电偶式功率计开始崭露头角。70年代，制造出了半导体热电偶功率探头，继而推出了低势垒肖特基二极管型功率探头，无论在频率范围、功率范围或在低反射系数等各项技术参数方面都显示了强大的生命。
