（1）抽气速率。钛的升华速率是决定其抽速的主要因素之一。若吸气面积足够大时，在一定的压强范围内，升华速率高，则泵的抽速大。钛膜的沉积速率与吸气量要适应，否则第一层钛膜吸气尚未饱和，第二层又覆盖上去，即使升华率很高，抽速增加也有限。为了维持恒定的抽速，减少钛的消耗，必须对升华率进行调节。真空度高时需降低升华率，真空度低时需增大升华率。
此外，吸气表面也决定抽速的大小，吸气面积越大，泵的抽速也越大。泵口的流导也往往限制泵的抽速。因此在设计泵时，泵吸气面的总吸气能力要小于泵口的流导。
（2）极限真空。这种泵的极限真空与泵启动前的预真空有关，如果使用机械泵达到的预真空，则该泵可达到10-4-10-5帕的极限真空。如果用涡轮分子泵达到的预真空，则可达到10-7-10-8的超高真空。
