1891年，德国林德公司在冷冻机械制造公司的实验室开始空气液化工作。

1895年，林德教授利用焦耳--汤姆逊效应制成第一台液体空气装置。

1901年，林德公司在慕尼黑市建立低温设备制造车间。

1902年，林德设计的第一台单级精馏塔的空分设备制成。法国克劳特发明了膨胀机，在巴黎建立空气液化公司。

1903年，林德公司制成第一台工业性10m3/h的制氧机，采用高压节流的高压流程。

1910年，法国制成第一台采用中压带活塞膨胀机的中压流程的50m3/h制氧机。

1920年，德国海兰特发明了可生产液氧的高压带膨胀机的高压流程。

1924年，法兰克尔建议在大型空分设备是采用金属填料的蓄冷器代替一般的热交换器。

1926年，法兰克尔提出普通形式蓄冷器。

1930年，林德公司制成第一台工业规模的林德--法兰克尔装置，产量为255m3/h，纯度为99.5%O2 。

1932年，透平膨胀机第一次应用于林德--法兰克尔装置上。德国第一次在冶金和合成氨工业中用氧。

1939年，苏联创造了高效率的透平膨胀机，并开始研究全低压空分设备。

1947年，林德公司致力于全底压工业氧制造设备。苏联开始设计全低压流程的大型工业氧装置。

1949年，美国第一次在29000m3/h制氧机上应用板翘式换热器。

1952年，奥地利首先使用纯氧顶吹转炉炼钢，促使冶金用氧剧增。

1955年，美国大力发展导弹，消耗大量液氧作为助燃剂。

1957年，第一台自动操作的120吨/天制氧机制成。

1960年，日本完成了10000m3/h99.6%O2和10000m3/h99.99%N2的双高纯度的大型全低压设备。

1972年，法国制成世界上最大容量的纯氧空分设备：1700吨/天O2和1500吨/天N2 。

更大型的机组还在持续研究中。