由电离抽气作用与蒸发（或升华）活泼金属的吸附作用相结合的真空泵。蒸发离子泵因对活泼金属（通常是钛）的加热蒸发形式不同，有各种不同的结构形式。大型蒸发离子泵，在外部控制的输送机构带动下，钛丝筒把钛丝送到加热柱上。加热柱受环形灯丝产生的电子束的轰击而加热到2000℃左右，钛丝便连续不断地蒸发、沉积在冷却的泵体内壁上，形成新鲜的钛膜而吸附抽气。同时，栅极也吸引由灯丝发射的部分电子，使其在电场中高速运动而同气体分子碰撞，电离气体分子。离子在静电场的作用下飞向低电位的泵体内壁，被新沉积的钛膜所“掩埋”，能量较大的离子还可直接打入沉积在泵壁上的钛膜内。这种蒸发离子泵对活性气体有较大的抽速，而对惰性气体的抽速则较小。为了提高对惰性气体的抽气速率，必须提高电离几率，因而电离机构就有多种形式。
