为了获得对惰性气体，特别是对氩的稳定抽速，可采取以下措施：①在二极型泵内加进第三个元件──溅射阴极；②把二极型泵的阴极开槽。前者是在阳极与阴极之间加一个栅极形式的电极──真正的溅射阴极，二极泵中的阴极则变为离子收集极。前者是三极型溅射离子泵。离子斜射到溅射阴极上产生很强烈的溅射。溅射的钛原子除部分沉积于阳极的内表面外，大部分沉积于收集极上，牢固地覆盖住粘附在它上面的像氩之类的惰性气体分子。后者是将二极型泵的阴极开槽。离子斜射槽的壁上也产生强烈的溅射，而槽底所受的离子轰击微弱，因槽壁的强烈溅射而沉积，将粘附在其上的气体分子永久埋葬。
溅射离子泵必须在10-2帕左右压力下启动，否则因离子流过大而使泵发热，导致吸附气体的解吸，甚至导致极间辉光放电和系统的压力升高，严重时还会影响泵的正常工作。另外，溅射离子泵对油蒸气的污染很敏感，因此对于不太清洁的系统，泵的起动压力应低于10-2帕。
