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加速度传感器有很多种,现在应用比较广泛的有微机械加速度计,又称为硅加速度计,它感测加速度的原理与一般的加速度计相同。根据读取元件的不同,微机械加速度计分为压阻式加速度计、电容式加速度计、谐振梁式加速度计和静电力平衡式加速度计。微机械加速度计体积小,便于安装,测量方法简单,成本低、抗过载能力强,满足微小型飞行器的结构和空间限制的要求。
加速度计由检测质量(也称敏感质量)、支承、电位器、弹簧、阻尼器和壳体组成。按输入轴数目分类,有单轴、双轴和三轴加速度计。