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石英振子式气体传感器是通过石英振子的共振进行气体测量的传感器。由石英振子微秤构成，该微秤由直径为数微米的石英振动盘和制作在盘两边的电极构成。当振荡信号加在器件上时，器件会在其特征频率发生共振。振动盘上淀积有机聚合物，聚合物吸附气体后，使器件质量增加，从而引起石英振子的共振频率降低，通过测定共振频率的变化来识别气体。
