根据不同的取压器形式,可以分为Si应变片式油压传感器、陶瓷式油压传感器以及溅射薄膜式油压传感器三种。
Si应变片式油压传感器的特点是其成本低,且适宜于大批量生产。此种油压传感器利用单晶硅的压阻效应,通过惠斯通电桥结构放大压力导致的电阻量变化,从而转化为最终的电压或电阻输出。对于Si材料本身来说,其压阻效应相较于金属和陶瓷而言更加明显,因此Si应变片式油压传感器除了具有成本低及适宜于大批量生产的优点意外,还具有测量范围宽、灵敏度高、输出信号强等特点,在低压值的传感器中应用较广。Si应变片式油压传感器的一个显著的缺点是,Si材料本身的强度不足,如果环境中有较强的压力冲击,容易直接将Si应变片击穿,对整个油压控制系统造成损害。当前的使用中,一般应用油或真空将其隔离,以期保证后续电路系统的安全性。
陶瓷式油压传感器的核心元件为陶瓷芯体。陶瓷为一种具有抗腐蚀和抗震动等特色的材料,同时其热稳定性要由于Si材料,其最优工作温度范围可达-40℃到125℃(相比较而言,Si的最优工作温度范围为-20℃到85℃),且具有长期热稳定性。其一般的测量原理为,将厚膜电阻片制作在陶瓷薄膜表面,陶瓷薄膜受压变形后厚膜电阻的阻值相应的发生变化,从而输出端压差的存在。通过一定的校准后,陶瓷式油压传感器具有长期的温度稳定性和时间稳定性,同时其可应用于气压和水压的测量。
溅射薄膜式油压传感器是将厚膜电路采用溅射的方法制作在不锈钢薄片的表面。由于溅射本身技术的优越性,厚膜电路和不锈钢之间通过分子键键合,具有长期的稳定性。当前应用广泛的高压油压传感器,大部分均为溅射薄膜式油压传感器,虽然其制造成本高,但由于其精度高,长期稳定性好,温度敏感性好,从而广泛应用于船舶、工程机械等大中型液压设备中 。