电感耦合等离子发射光谱-质谱仪，是指以电感耦合等离子体作为离子源，将无机元素电离成带电离子后通过接口部分将离子束从等离子体中提取进入质量分析器，再根据质荷比不同，通过质谱仪进行检测的无机多元素分析仪器。ICP-MS可进行多元素浓度快速分析和同位素分析，且具有高灵敏度、低检出限、线性范围宽、谱线简单、干扰少、分析精密度高、可分析元素范围广等特点。标准的ICP-MS仪器分为电感耦合等离子体、质谱计、接口三个基本部分。由于质谱和等离子体之间存在温度、压力和浓度的巨大差异，前者要求在高真空和常温条件下工作，而后者则是在常压下工作，所以接口是整个ICP-MS系统最关键的部分。

ICP-MS仪器灵敏度特别高，因此在样品制备期间需要特别注意避免污染问题，待测液制备时用酸要考虑到可能引起的多原子离子干扰问题，ICP-MS分析最好的酸介质是硝酸。由于氢氟酸会腐蚀玻璃进样系统，所以在样品测定时必须保证待测液中不含氟离子或者使用耐氢氟酸的进样系统。由于含盐量过高会引起接口锥严重堵塞和基体抑制效应，所以对待测液中含盐量（TDS）有限制，一般控制在2%以下。2100433B