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如Al,Hf、Nb、Zr等金属的阳极氧化介质薄膜,辉光放电制成的聚合物介质薄膜以及氮化铝薄膜等。阳极氧化物的介电常数如下:Al203 10,HfO2 45,Nb2O5 41,WO3 42。