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三维光学轮廓仪技术指标

2022/07/15111 作者：佚名
导读：垂直测量范围 27mm 垂直分辨率 2nm X-Y扫描速度 20mm/s 横向X-Y轴分辨率 0.1μm 扫描范围（XYZ） 150*150*60mm。

垂直测量范围 27mm 垂直分辨率 2nm X-Y扫描速度 20mm/s 横向X-Y轴分辨率 0.1μm 扫描范围（XYZ） 150*150*60mm。

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