利用红外线和紫外线吸收的湿度脉动测量仪器主要有红外湿度仪(利用水汽对红外辐射吸收的原理)、紫外湿度仪(利用水汽对紫外辐射吸收的原理)和微波折射仪(利用微波折射与温度的相互关系)三种不同的类型。

红外湿度仪是通过两个相邻波长的红外传输的差别测量湿度的，一个波长位于水汽高吸收区，另一个位于水汽吸收可以忽略的区域，传输路径长度典型值为0.2～1.0m，光束通常用一个机械的斩波器作调制，以获得探测信号的高增益放大。在可利用的红外湿度仪中有开路型(open-path)和闭路型(closed-path)两种类型，作为开路型的分析仪，被应用的主要有Ohtaki和Matsui(1982)开发的碳素气体一水汽脉动仪(Advanet制造)、伊藤和小泽(1988)开发的设备(Kaijo制造)、CSIRO的Hyson和Hicks(1975)开发的设备等几种类型。开路型的分析仪在长周期观测过程中的稳定性方面存在问题，但CSIRO的红外湿度仪放弃了长周期的思路，而采用通过光的瞬间值与平均值的比与比湿脉动成比例的原理制成，而且是使用普通的小灯泡光源的简单装置。闭路类型的红外湿度分析仪主要有LI-6262和LI-7000等具有优良性能和稳定性的测量仪器。