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2006年1月，经国务院批准基地正式纳入中关村科技园区，同时享受国家级经济技术开发区和国家级高新技术基地规划面积7.5平方公里，其中规划工业用地4.4平方公里。在产业规划上大力发展代表国际一流、国内领先水平的光机电一体化产业，重点发展微电子、光电子、先进装备制造业、智能仪器仪表、激光技术、数控机床、印刷机械、医疗设备、半导体材料等主导产业。
